6月26日,宜兴市科技局公布信息:江苏博砚电子科技有限公司通过产学研合作自律研发的LCD生产用黑色光阻材料,主要指标超过了当前国际上同类产品水平,其中低电阻产品约世界领先水平,将要构建量产。标志着我国在LCD生产用黑色光阻材料上,将超越国外企业40年来的市场独占,符合我国微电子产业发展的市场需求。黑色光阻材料,是LCD生产中的关键材料,40多年来,尽管国际上黑色光阻材料需求量更加大,但因为黑色的光谱特性,目前,我国所用的黑色光阻材料仍然倚赖进口,为了超越日企的技术封锁和市场独占,坐落于宜兴的江苏博砚在年仅30岁的总经理宗健的率领下,从2014年起,先期投资1.5亿元,引入国际先进设备的实验设备,聘用多领域具备研发经验的外国专家构成攻关组,并与北京化工大学正式成立牵头研究中心,构成了一个享有40多人的高水平国际化技术团队展开协同工作,加快前进BM光阻材料的研发与产业化。
江苏博砚在研发过程中,从活性单体的检验和掌控、色浆细度掌控和平稳、产品配方设计和优化、最后用于条件给定和宽容度优化等方面积极开展了深入研究,明确提出了高垂直性的解决方案,已完成了系列黑色光阻材料的研发工作。尤其是低电阻黑色光阻产品等,具备显著的创新性。
据宗健讲解,因为有所不同的曝光机的参数有所不同,所对应的工艺和对黑色光阻材料的拒绝也具备较小的差异。如果同款产品可以同时符合有所不同曝光机下的拒绝,某种程度节省产线上产品转换,同时也大大减少原材料的用于。现在,国际上很少有能同时符合两种有所不同生产工艺的BM,而江苏博砚不但自律研发出有了一款同时需要符合三种主流应用于设备的工艺拒绝。
其次,全新具备低电阻性质的产品,则同时构建了高的菩旋光性能和低的电绝缘性。从一年多的测试效果来看,光阻产品主要技术性能与日本公司产品比起不相上下,其中在线幅分辨率、形貌角度及直线性能方面高于输掉。
日前,黑色光阻材料已通过中国石油和化学工业联合会的组织的技术成果鉴定,并申请人了10项发明专利。检验委员会专家组完全一致指出,江苏博砚联合开发出有的LCD生产用黑色光阻材料,空缺了国内空白,其主要指标超过了当前国际上同类产品水平,整体技术超过国际先进设备。
其中,低电阻产品早已多达了国外大公司的产品水平,早已超过世界领先水平,实行产业化后,对提高我国微电子行业用材料、减少进口依存度等具备积极意义。据理解,江苏博砚和北京化工大学牵头研发的这一项目早已列为"国家重点基础材料技术提高与产业化"重点专项资金的反对,目前公司已竣工年产100吨生产线,下一步将减缓建设1000吨生产线,确实构建大规模产业化,力争5年总计销售20亿元。
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